洁净厂房的洁净度是什么意思

 

洁净厂房洁净度，即是指洁净室及洁净区内，空气中悬浮粒子的空气洁净度。当洁净室（区）内的产品生产工艺要求控制微生物、化学污染物时，应根据工艺特点对各空气洁净度等级规定相应的微生物、化学污染物浓度限值。

 

按《洁净厂房设计规范 GB50073-2013》标准，洁净度的整数等级应按下表计算确定：

 

注：按不同的测量方法，各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位。

 

各种要求粒径D的最大浓度限值Cn应按下式计算：

 

以上公式中：Cn = 每立方米空间最大允许大于某粒径颗粒物的数量浓度；

N = ISO洁净度分级数；

D = 颗粒物尺度，单位为微米；

0.1 = 常数，单位为微米。

 

一般洁净度可对应洁净室的状态：空态（已建成，但无设备和人员），静态（设备已就位，但无人员），动态（设备和人员正常运作）。

 

 

随着科学技术的发展，目前在一些高科技产品（芯片、半导体、液晶、CPU等）的洁净厂房中，不仅要求控制洁净室（区）内的微粒，还要求控制各类微生物、化学污染物等方面，愈发严格。